太陽電池製造装置 常圧ＣＶＤ【AMAX1000s】を製品一覧に追加しました。
太陽電池製造用 ハイスループット連続式常圧CVD装置です。
実績のあるAMAXの連続搬送方式を採用し、１時間当り１０００枚以上の処理が可能です。

  MOCVD装置【DoctorT】を製品一覧に追加しました。
世界で初めてFeRAM-LSI量産対応の強誘電体薄膜用MOCVD装置です。
電極用金属、PZT・SBTを始め様々な組成の金属酸化物薄膜を形成することが可能なため、
FeRAM以外の分野へも幅広く応用が可能です。

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