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製品ラインナップ
常圧CVD装置
枚葉式装置 A200V
連続式装置 AMAX800V
連続式装置 AMAX1200
連続式装置 A6300S
バッチ式 Dシリーズ
太陽電池用装置
AMAX1000S
ガラス基板成膜装置
オーダーメード装置
中古情報
フォトマスク洗浄装置
フレキシブルな小規模生産、開発用常圧CVD装置
D501
大型トレーに複数枚ウェハを装填するバッチ式常圧CVD装置
特徴
大型トレーに複数枚ウェハを装填し、トレーがディスパージョンヘッド下を往復し成膜するバッチ式の常圧CVD装置です。
異形基板に対応可能です。
コンパクトな装置サイズで、フットプリントを小さくしてあります。
性能
膜厚均一性
膜種・膜厚による
対応ウェハサイズ
加熱可能ゾーンに準じる
ガス種
SiH
4
, O
2
, PH
3
, B
2
H
6
,N
2
(TEOS, TEB, TMOP, O
3
, TMAはオプション)
成膜温度
350℃~450℃
生産性
-
主な仕様
装置サイズ
1200㎜(W) x 2480㎜(D) x 1940㎜(H)
加熱機構
抵抗加熱
ロード・アンロード
マニュアル方式
ディスパージョンヘッド(ガスノズル)
A63ヘッド
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サービス部
TEL:048-989-1881(代表)